XPS是X射线光电子能谱的缩写，是一种表面分析技术。通过照射样品表面并测量材料所发出的电子能谱，可以得出材料表面的化学成份、化学键状态、表面形貌信息等。

1.XPS是什么意思

XPS，全称为X-ray photoelectron spectroscopy（X射线光电子能谱），是用于表面分析的技术，利用X射线激发样品表面，并测量材料所发出的电子能谱，从而确定表面元素的化学状态及其他相关信息。

2.X射线光电子能谱分析原理

XPS利用X射线穿过薄样品，使得样品中的元素原子吸收掉入射X射线的光子能量，并将产生了空心能级的原子电离。这时的电子被称作光电子。由于每个元素原子的电子结构不同，因此它对光子吸收和电离的条件也有所不同，能谱分析器采用光电子能谱衡量被激发的原子电离速率和能量，因此可以确定元素的化学状态与化合价。

3.X射线光电子能谱分析特点

相比于传统的表面分析技术，XPS具有以下几个优点：

• 非破坏性分析：XPS在分析时不需要对样品进行任何加工处理，所以不会对样品造成任何损伤，保持样品完整性。
• 高灵敏度：XPS可检出微量元素含量，其测量精度可以达到0.1%～1%。
• 表面化学信息丰富：XPS可以得到物质的化学状态、化合价及电荷分布等详细信息。
• 定性分析：由于原子级别的解析度，可以用XPS区分不同元素的化学状态和化合价，从而实现材料的定性分析。